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SEMICONDUCTOR

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 Application

1. 드라이어-저노점 (Dryer - Low Dewpoint)

2. 클린룸 온습도 제어  (Humidity & Temperature clean room control)

3. 반도체 장비 모니터링  (Semiconductor Tool Monitoring)


클린룸 및 기타 중요한 환경에서는 일관된 기준 내에서 작동하기 위해 정밀한 환경 측정이 필요합니다.
습도 및 온도 측정은 클린룸 환경에서 특히 어려울 수 있습니다. Vaisala의 매우 정확한 계측기 및 강력한 솔루션은 측정 과제를 해결하고 클린룸 기능을 원활하게 운영 할 수 있도록 도와줍니다. 당사의 제품은 습도, 이슬점, 온도, 압력 등을 측정, 모니터링 및 기록합니다. 최신 기술, 전문적인 지침 및 다양한 서비스를 통해 클린룸 운영을 지원합니다.
최신 기술, 전문가의 노하우 및 클린룸 운영을 지원하는 광범위한 서비스를 통해 당사의 제품은 습도,
이슬점, 온도, 압력 등을 측정, 모니터링 및 기록합니다. 중요한 깨끗한 환경에서 사용하도록 설계된
연속 모니터링 시스템 및 연속적인 데이터 기록을 위한 당사 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.
GxP 규제 어플리케이션의 경우, 우리는 생명 과학을 위해 설계된 클린룸 모니터링 시스템을 제공하여
이러한 요구사항을 준수하도록 지원합니다.

SYSTEM

1. 드라이어-저노점

(Dryer-Low Dewpoint) 


산업 압축 공기 시스템, 플라스틱 건조, 의료용 가스 및 호흡용 공기 및 유동층 건조기와 같은 여러 산업 분야에서 VAISALA의 노점센서로 압축 공기의 노점을 안정적으로 측정하십시오.


■ 편차를 줄이고 장기간 안정성을 보장하는 고유 특허 기술 Auto calibration

■ 노점 트랜스미터 중 고습에서 저습 구간의 가장 빠른 응답속도

추천 제품군

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2. 클린룸 온습도 제어

(Humidity & Temperature Clean Room Control)


최신 기술, 전문가의 노하우 및 클린룸 운영을 지원하는 광범위한 서비스를 통해 VAISALA의 제품은 습도, 이슬점, 온도, 압력 등을 측정, 모니터링 및 기록합니다. 클린룸 제어에 최적화된 연속 모니터링 시스템 및 연속적인 데이터 기록을 위한 솔루션을 제공합니다.


■ 검증된 장기간 안정성

■ 과산화수소 오염 방지 센서 코팅 옵션

추천 제품군

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3. 반도체 장비 모니터링

(Semiconductor Tool Monitoring)


장기간 안정성을 보장하는 초정밀 센서는 반도체 장비 주변의 미세환경의 정밀 제어를 가능하게 합니다. 바이셀라는 반도체 산업에 적용 가능한 다양한 형태의 온습도 및 압력 트랜스미터를 제공합니다.


■ 클린룸 용 온습도 트랜스미터 HMT120/130

  • Vaisala HUMICAP®를 적용한 습도 및 온도 트랜스미터 HMT120 및 HMT130은 클린룸의 습도 및 온도 모니터링을 위해 설계되었으며 까다로운 HVAC 애플리케이션에도 적합합니다.

■ 열악한 환경을 위한 온도, 습도 압력 측정 복합 트랜스미터 PTU300

  • 습도, 온도 및 기압을 2개의 정확도 등급으로 측정합니다. PTU300 시리즈는 큰 숫자와 그래픽 디스플레이, 데이터 로깅 및 (W) LAN 인터페이스를 옵션으로 선택할 수 있습니다.

■ 산업용 CMS

  • 산업환경을 위한 연속 모니터링 시스템은 사용자의 귀중한 자산과 중요한 프로세스를 보호합니다. 제어 시스템과 이중으로 실행되는 CMS는 정확한 데이터, 실시간 경향 및 간편한 보고서 작성 기능을 제공합니다. .

■ 산업용 기압계 PTB110

  • Vaisala BAROCAP® 기압계 PTB110은 실내 온도에서의 정확한 기압 측정과 넓은 온도 범위에서의 일반적인 환경 압력 모니터링을 위해 설계되었습니다.

■ 전문 기상, 항공 및 산업용 디지털 기압계 PTB330

  • 광범위한 대기압 측정을 위해 설계된 차세대 기압계로 항공, 전문 기상 및 정밀한 산업용 압력 측정 환경에  사용할 수 있습니다.

■ 상대습도, 온도 및 노점용 OEM 모듈

  • 사용자의 필요에 따라 상대습도, 온도 및 노점 적용을 위한 다양한 형태의 OEM 모듈을 선택할 수 있습니다.

■ 포인트 체크용 초정밀 휴대용 측정기 HM70

  • 현장에 설치된 트랜스미터 교정 및 현장 검사용으로 설계되었습니다. 휴대용 측정기의 공인된 교정성적서 발행이 가능합니다.

■ 항온항습 챔버용 습도 모듈 HMM100

  • Vaisala HUMICAP® 습도 모듈 HMM100은 항온 항습 챔버에 직접 설치를 위한 개방형 프레임 모듈입니다. 
  • 이 모듈은 상대 습도 (RH) 또는 이슬점 (Td)에 대해 단일 아날로그 출력 채널을 제공합니다.

■ 교체형 온습도 프로브 HMP110

  • HMP110은 높은 정확도와 안정성을 갖춘 합리적인 가격의 견고한 온습도 트랜스미터입니다.

■ 대량 생산용 온습도 모듈 HMP60

  • HMP60은 간단하고 내구성이 뛰어나며 합리적인 가격의 습도 센서입니다. 
  • 대량 생산, 타 생산장비에 적용, 인큐베이터, 글로브 박스, 온실, 발효 챔버 및 데이터 로거에 적합한 모델입니다.

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