주요 사양
반도체·태양광·석유화학·제약 진공 공정용으로 설계된 경제형 절대압 캐패시턴스 마노미터입니다. 고주파 전자회로로 극히 낮은 노이즈와 빠른 응답(<20 ms), 빠른 웜업과 제로 복귀 특성을 제공하며, 인코넬 접액부로 내식성이 우수합니다. ISO NW16/25/40, 8VCR, 0.5" 튜브 등 진공 표준 피팅을 선택할 수 있습니다.
| 형태 | 트랜스듀서 |
|---|---|
| 측정 범위 | 0~1 Torr (절대) |
| 정확도 | ±0.5% Rdg (옵션 ±0.25% Rdg) |
| 출력 | 0–5 VDC · 0–10 VDC (15핀 D-Sub) |
| 압력 | 내압 45 psia |
적용 분야
- 반도체 공정 챔버
- 로드락
- 진공 포장
- 동결 건조
- 오토클레이브