주요 사양
Vactron 가변 커패시턴스 센서를 적용한 절대압 진공 트랜스듀서로, 가스 조성에 무관하게 ±0.25% of reading(옵션 ±0.15%)의 정확도를 제공합니다. 접액부 전체가 Inconel로 제작되어 부식성 가스에 사용 가능하며, 금속 케이스와 필터링으로 EMI/RFI 성능이 우수합니다. 10~1000 Torr 레인지와 NW16/25/40, VCR 등 표준 진공 피팅, 15핀 D-sub 연결을 지원합니다.
| 형태 | 트랜스듀서 |
|---|---|
| 측정 범위 | 10 / 20 / 100 / 1000 Torr (mbar, kPa 선택) |
| 정확도 | ±0.25% of reading (옵션 ±0.15%) |
| 출력 | 0–5 V · 0–10 V (±15 VDC 전원) |
| 압력 | Proof 45 psia |
적용 분야
- 반도체 공정장비
- 진공 시스템
- 연구소·R&D
- 계측·메트롤로지
- 분석장비