주요 사양
300 mm 반도체 장비의 고밀도 표면실장 가스스틱·패널용으로 설계된 1-1/8" C-Seal 베이스 트랜스듀서로 공간 효율이 뛰어납니다. 접액부는 SEMI F19/F20 준수 316L VIM/VAR 스테인리스(5Ra)이며 작은 스웹트 챔버로 퍼지 효율이 높습니다. 가변 커패시턴스 방식으로 EMI/RFI에 강하고 ±0.25% FS 또는 ±1.0% of Reading 정확도를 선택할 수 있으며, Model 328 회전 디스플레이와 조합 가능합니다.
| 형태 | 트랜스듀서 |
|---|---|
| 측정 범위 | 0~25 ~ 0~3,000 psi (1.7~200 bar), 절대(1000/1500 Torr)/게이지/컴파운드 |
| 정확도 | ±0.25% FS 또는 ±1.0% Reading |
| 출력 | 4–20 mA · 0–5 V · 0–10 V · 0.2–5.2 V · 0.2–10.2 V |
| 압력 | Proof 40~3,500 psig, Burst 최대 10,000 psig |
적용 분야
- 반도체 공정장비
- 가스스틱·가스패널
- 고순도 가스 공급
- UHP
호환 프로브·기기
- Model 328