주요 사양
순도와 구조적 무결성이 필수인 특수가스 모니터링·제어용 초고순도 압력 트랜스듀서로, VAR 316L SS 접액부를 5 Ra로 패시베이션 처리하고 전수 헬륨 누설 시험(1×10⁻⁹)을 거칩니다. 소형 유선형 센서 챔버로 퍼지가 쉽고 유동 가스의 온도 과도현상에 둔감하며 토크 영향이 거의 없습니다. 85°C 베이크아웃이 가능하고 4–20 mA 출력에 UL 121201/ATEX 옵션을 제공합니다.
| 형태 | 트랜스듀서 |
|---|---|
| 측정 범위 | 0~25 ~ 0~3,000 psi (1.7~200 bar), 절대/게이지/복합 |
| 정확도 | ±0.25% FS 또는 ±1.0% of reading |
| 출력 | 4–20 mA · 0–5 V · 0–10 V · 0.2–5.2 V · 0.2–10.2 V |
| 압력 | Proof 50~3,500 psig · Burst 최대 10,000 psig |
적용 분야
- 반도체 공정장비
- 고순도 가스 공급
- 가스 캐비닛
- 제약·바이오 공정