FAB 공조 · 클린룸 · 차압

반도체 · 디스플레이

FAB 공조 덕트·외기, 클린룸 벽면, 클린룸 차압, 방폭 구역 등 반도체 현장 납품 이력을 기준으로 정리한 구성입니다. 장비에 내장하는 센서는 장비 제조사(OEM) 페이지에 따로 정리했습니다.

측정 포인트별 구성

5개 포인트 · 모델을 누르면 상세 사양이 열립니다

FAB 공조 덕트와 외기 도입부의 기본 구성. Indigo520 트랜스미터에 HMP3 프로브를 연결

일반 덕트·서브팹은 모듈형 Origo10 덕트형을 우선 제안. 일체형 덕트 트랜스미터 HMD62·HMD110도 선택 가능

클린룸·사무 구역 벽면 온습도. 모듈형 Origo10을 우선 제안

구역 간 차압, FAB 공사 표준 품목

케미컬·가스 구역 습도

위 구성은 자주 쓰이는 기본안입니다. 측정 포인트 수, 출력 방식, 설치 조건을 알려주시면 담당 엔지니어가 현장에 맞게 다시 잡아드립니다.

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